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北方华创发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相沉积设备,攻克高深宽比填充与原子级薄膜技术,2024年薄膜沉积设备收入超100亿元

北方华创发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相沉积设备,攻克高深宽比填充与原子级薄膜技术,2024年薄膜沉积设备收入超100亿元

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SICRIUS PY302系列设备已通过多家晶圆厂严格验证,在先进逻辑与存储芯片制造中实现规模量产。

近日,北方华创正式发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备。该设备面向高端逻辑芯片与存储芯片领域非晶硅、多晶硅薄膜沉积技术,成功攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技术瓶颈,标志着北方华创在高端半导体装备领域持续取得关键技术突破。

在三维集成芯片制造成为主流的今天,堆叠层数的增加带来了更高的深宽比要求,这使得垂直结构填充面临挑战。传统填充工艺容易产生孔洞,从而导致器件失效。SICRIUS PY302系列设备通过其低压反应腔技术和多区独立高精度温控系统,实现了自下而上的无缺陷填充,确保了高台阶覆盖率。这一技术突破为逻辑芯片和存储芯片等头部企业的量产需求提供了坚实保障。

在高端芯片栅极制造中,实现薄膜的高平坦度是一项关键挑战。SICRIUS PY302系列设备采用全自主设计的全石英腔室与高精度温度控制加热器,结合气体流场与热场协同控制算法,将膜厚均匀性和表面粗糙度控制在原子级,显著提升晶体管电性稳定性。同时,该设备集成了多种硅源前驱体,并实现了原位清洗、原位刻蚀和多元素掺杂等先进工艺功能,从而大幅降低了器件的缺陷率。

目前,SICRIUS PY302系列设备已通过多家领先晶圆厂的严格验证,在先进逻辑与存储芯片制造中实现了规模量产,并持续获得重复订单,为半导体制造企业提供了高效、可靠的设备解决方案。

北方华创2024年薄膜沉积设备收入超100亿元

薄膜沉积设备作为半导体制造的核心装备,通过物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、外延生长 (EPI)、电化学沉积(ECP)及原子层沉积(ALD)等技术,在基底表面精准构筑纳米级功能膜层,这些膜层在芯片中 扮演重要的角色。根据权威机构数据,2023年薄膜沉积设备在集成电路设备资本支出中的占比为22.1%。

2024年北方华创薄膜沉积设备收入超100亿元,并且已经形成了物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、 外延和电镀设备的全系列布局。

根据年度报告披露的信息,目前北方华创批量销售的化学气相沉积主要包括:

12英寸等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜沉积,可满足对钝化层、隔离层、抗反射层、刻蚀停止层等多样化的应用需求。该设备可实现高均匀性、高产能的薄膜沉积,工艺一致性更好、可靠性更高。

12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备(HDPCVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片介质填充工艺。该设备通过同时进行沉积和刻蚀的工艺方式,有效完成高深宽比沟槽的介质填充,具备高沉积速率、优异的填孔能力和高致密的薄膜质量等优势。

12英寸低压化学气相沉积设备(LPCVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片接触孔和通孔填充。该设备通过精确的温度、气体脉冲时间和压力控制,实现高深宽比结构填充需求。

8英寸金属有机化学气相沉积设备 (MOCVD):主要用于功率、射频、光电子、Micro-LED、高效光伏等器件中的外延生长。

*声明:本文系原作者创作。文章内容系其个人观点,我方转载仅为分享与讨论,不代表我方赞成或认同,如有异议,请联系后台。

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结语




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唐山市(丰润区、🈵丰南区、遵化市、🥙迁安市、🥔️开平区、唐海县、♌️滦南县、🦍乐亭县、滦州市、玉田县、😏迁西县、遵化市、唐山市路南区)




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常熟市(方塔管理区、🕞虹桥管理区、🌚琴湖管理区、🕝兴福管理区、谢桥管理区、🙈大义管理区、👎莫城管理区。)宿迁(宿豫区、👈宿城区、🎽湖滨新区、洋河新区。)




荆州市(沙市、🏹荆州)




三亚市(淮北、🦋吉阳、天涯、崖州)




廊坊市(安次、广阳)




无锡市北方华创发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相沉积设备,攻克高深宽比填充与原子级薄膜技术,2024年薄膜沉积设备收入超100亿元电话-400各市区电话(梁溪、滨湖、惠山、新吴、锡山)




宜春市(袁州)




六安市(日照安、🈵裕安、叶集)




锦州市(凌海市、👐义县、😣黑山县、🌏凌河区、🍯市辖区、古塔区、🍉北镇市、🍄太和区)




银川市(永宁县、兴庆区、西夏区、金凤区、👎贺兰县、灵武市、市辖区)




安康市(宁陕县、🦡白河县、🌪汉阴县、岚皋县、🦆石泉县、🤘市辖区、紫阳县、☝汉滨区、♎️旬阳县、镇坪县、🐳平利县)




宜昌市(伍家岗区、西陵区、点军区、✊猇亭区、🍞夷陵区、🕣远安县、🤛兴山县、秭归县、🌤长阳土家族自治县、♒️五峰土家族自治县、😇宜都市、当阳市、🥡枝江市、👺虎亭区)




白山市:浑江区、🦋江源区。




赣州市(南康区、🖤章贡区、♌️赣县区、😆信丰县、大余县、上犹县、🍕崇义县、安远县、🐋龙南县、🥟定南县、全南县、宁都县、🙌于都县、兴国县、🤧会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇)




绍兴市(越城、柯桥、上虞)




杭州市(临安、☯️上城、下城、☝江干、拱野、🐺西湖、滨江、余杭)




揭阳市(榕城、💔揭东)




鹰潭市(余江县、市辖区、♓️贵溪市、🧐月湖区)




邯郸市(邯山、🐓丛台、🥠复兴、⛎峰峰矿、肥乡、永年)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、🥏乌拉特后旗、乌拉特前旗、☯️市辖区、🐚临河区、🤒五原县)




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襄阳市(樊城区、襄州区、老河口市、😩‍宜城市、南漳县、谷城县、保康县、🤬‍枣阳市、定南县、🐸随州市、白浪镇、城关镇、😣赵家镇、东津镇、堰头镇)




湖州市(南湖、秀洲)




马鞍山市(花山、雨山)




邢台市(柏乡县、临西县、任县、🐖‍新河县、🕉宁晋县、南宫市、🎽内丘县、清河县、🦘‍巨鹿县、😸临城县、🤲隆尧县、👈南和县、威县、桥东区、邢台县、🤚市辖区、平乡县、桥西区、🕐广宗县、沙河市)




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衡阳市(珠晖、雁峰、👆石鼓、🤫蒸湘、南岳)




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太仓市(城厢镇、金浪镇、🎍沙溪镇、璜泾镇、浏河镇、浏家港镇;)




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贵州省安顺市(西秀区、☣️平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、💜关岭布依族苗族自治县、🥐紫云苗族布依族自治县、🐁安顺市、开阳县)




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本溪市:平山区、明山区、🕥溪湖区、南芬区。




乐山市(市中、🤝沙湾、五通桥、日照口河)




鹤壁市(淇县、🍟鹤山区、🐒浚县、山城区、市辖区、淇滨区)




白山市(靖宇县、🌙浑江区、江源区、长白朝鲜族自治县、抚松县、🎽临江市、🐤市辖区)




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牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、✋西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




东莞市(莞城、🥏南城、🤚万江、东城,石碣、✝️石龙、☢️‍茶山、🐒石排、⚔️企石、横沥、桥头、谢岗、⛎东坑、🤩常平、🙉寮步、🌪大朗、黄江、清溪、塘厦、凤岗、🥂长安、✍惠东、🌤厚街、🐂沙田、道窖、洪梅、🤔麻涌、🕎中堂、🥖高步、🚭樟木头、🤞大岭山、✅望牛墩)




通辽市(科尔沁区、🍷扎鲁特旗、⛳️开鲁县、霍林郭勒市、市辖区、🦇科尔沁左翼中旗、✌️库伦旗、科尔沁左翼后旗、👊奈曼旗)




桂林市(秀峰区、🐫️象山区、七星区、雁山区、🅱️临桂区、🕞阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、🧀荔浦市、灵川县、全州县、🏐永福县、🍢龙胜各族自治县、🦆恭城瑶族自治县):😺




嘉兴市(海宁市、🐝市辖区、😬秀洲区、🐉平湖市、🍕桐乡市、南湖区、😰嘉善县、海盐县)




常熟市(方塔管理区、🍽虹桥管理区、琴湖管理区、🥠兴福管理区、谢桥管理区、大义管理区、莫城管理区。)宿迁(宿豫区、🤲宿城区、💪湖滨新区、洋河新区。)




台州市(椒江、😒黄岩、🔰️路桥)




泰州市(海陵区、✨高港区、姜堰区、兴化市、⚔️泰兴市、💗靖江市、🦅扬中市、丹阳市、泰州市区、姜堰区、⛅️️海安镇、周庄镇、🚭东进镇、世伦镇、🦌‍青龙镇、杨湾镇、☦️️马桥镇)




牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、🌪️西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




雅安市(汉源县、市辖区、☝名山区、🌳石棉县、⛔️荥经县、宝兴县、天全县、🐸芦山县、🌸雨城区)




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安康市(宁陕县、🌈白河县、汉阴县、👏️岚皋县、石泉县、市辖区、紫阳县、💟汉滨区、😃️旬阳县、镇坪县、平利县)




常州市(天宁、🤗钟楼、新北、武进、日照坛)




郑州市(中原、二七、管城、日照水、🐂上街、惠济)




中卫市(沙坡头区、海原县、中宁县、🌼市辖区)




金华市(武义县、东阳市、磐安县、浦江县、🕜‍兰溪市、🌗永康市、婺城区、义乌市、🈵市辖区、金东区)




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葫芦岛市:龙港区、🙁南票区、🍾连山区。




沧州市(新华区、运河区、💪沧县、青县、🍻东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、💝吴桥县、献县、⛸‍孟村回族自治县、河北沧州高新技术产业开发区、沧州经济技术开发区、⚾️任丘市、黄骅市、♎️河间市、泊头市)




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巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、☸️乌拉特中旗、乌拉特后旗、🌱乌拉特前旗、🦁市辖区、临河区、五原县)




连云港市(连云、海州、赣榆)




淮安市(淮阴区、清河区、淮安区、🤣涟水县、🐌洪泽区、🐁️盱眙县、金湖县、楚州区、👊️淮安区、🧑海安县、🍻亭湖区、👈淮安开发区)




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发布于:北京市
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